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纳米制造,测量先行。研制高精度的纳米级标准物质,是打造高准确度纳米测量传递链,提升国产纳米制造产品质量可靠性的关键。标准物质研制单位同济大学相关专家介绍,二维铬纳米栅格标准物质突破性地采用分步沉积原子光刻技术,制备难度较大,可直接溯源到自然界量子化物理常数(铬原子跃迁频率),角度绝对准确性在0.001°量级,相当于把一个蛋糕按扇形均分成三十六万份。二维铬纳米栅格的结构面积一般为300μm×300μm,在没有划伤或破坏的状况下,每次使用2μm×2μm,不重复使用测量区域次数可达20000次以上。可应用于晶圆级原子力显微镜、扫描电子显微镜等集成电路微纳检测设备校准,也可应用于对超精密位移传感器多种参数的光栅干涉法校准。


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  • 932扶瑾飘z

    广西田东税务:以“为民温度”标注“服务刻度”🥠⚟

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    187****9425 回复 184****6892:第六届“中英创新与发展论坛”成功举办⛹来自淮南

    187****6277 回复 184****9156:时评:露或不露,不是个问题🚈来自安顺

    157****9756:按最下面的历史版本🗿♋来自花都

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  • 5677汪邦紫134

    在“流动中国”中体验幸福的味道➯⌚

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  • 978江力言bc

    石破茂上任后与拜登和尹锡悦首次通话🚛♧

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